S1000-掃描電鏡放大倍率校準(zhǔn)圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品

概述簡(jiǎn)介：

        普天同創(chuàng)（深圳）科技有限公司 為掃描電鏡客戶定制放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品。標(biāo)樣基質(zhì)材料為單晶硅或石英玻璃基片，材料性質(zhì)穩(wěn)定。由德國聯(lián)邦物理研究所（PTB）對(duì)線距均勻性進(jìn)行測(cè)量認(rèn)證。測(cè)量結(jié)果可直接溯源至米定義計(jì)量基準(zhǔn)。

規(guī)格尺寸：

        5mm×5mm×0.5mm（長(zhǎng)×寬×厚）

產(chǎn)品描述：

     ○. 主體圖形為一“回”字形方框，分為4個(gè)象限，X、Y軸上為垂直坐標(biāo)軸方向的線距20μm的短平行線條，

     ○. 4個(gè)象限上分別是線距為40μm、20μm、10μm的方格網(wǎng)狀圖形和線距為5μm的X、Y雙向平行線條圖形。

     ○. 內(nèi)框中部又是“回”字形方框，大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5μm的平行線條，小框里面是線距為1μm或0.5μm的X、Y雙向平行線條圖形（如圖）。在5μm和1μm或0.5μm的線距結(jié)構(gòu)上還有一些十字形和圓點(diǎn)，可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調(diào)整。不同的線距大小可用于從10×～100,000×放大倍率范圍的校準(zhǔn)，而把40μm、20μm和10μm的線距結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)成方格形，是為了在對(duì)放大倍率進(jìn)行準(zhǔn)確校準(zhǔn)的同時(shí)，可以對(duì)圖像的畸變、像散等進(jìn)行校驗(yàn)， 5μm和1μm/0.5μm的線距結(jié)構(gòu)也同時(shí)具有X、Y兩個(gè)方向的平行線條，是為了方便同時(shí)對(duì)X、Y兩個(gè)方向進(jìn)行放大倍率的校準(zhǔn)而不必機(jī)械旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)器。

主要用途：

     ○. 利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子”圖像，可對(duì)電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺(tái)復(fù)位檢驗(yàn)

使用方法：

     ○. 可以直接參照標(biāo)樣說明書的那八張相近圖像進(jìn)行測(cè)量

注意事項(xiàng)：